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产品展示
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产品信息

特点:

测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统,可人工观察金属表面的金相组织结构,是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主,也可作三维辅助测量,广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。

特点:

1. X、Y、Z三轴0.5μm分辨力

2. 电动Z轴分辨力0.1μm

3. 具有高度自动测量

4. 内建偏光测量光学模块

5. 高速/无接触测量

6. 同轴光/底光测量

7. 可搭配白光纳米检测模块测量纳米级厚度

技术规格参数:
型号
MTM-3020MA
工作台
金属台尺寸(mm)
500 x 330
玻璃台尺寸(mm)
350 x 250
X、Y轴运动行程(mm)
300 x 200
手动Z轴行程(mm)
120
自动Z轴行程(mm)
2
外形尺寸(mm)
825 x 660 x 910
仪器重量(kg)
130
X、Y、Z轴分辨力(μm)
0.5
自动Z轴分辨力(μm)
0.1
示值误差(μm)

E1XY=( 2.5+ L/100) μm  (L为测量长度,单位mm)

物镜放大倍数误差
包括畸变在内的放大率误差≦0.08%
落射照明光源
可调高亮度卤素灯
底光照明光源
可调高亮度LED灯源
目视系统
影像系统
物镜放大倍数
5X、10X、20X、50X
5X、10X、20X、50X;10X Mirau物镜
目镜放大倍数
10X双镜筒
1/2”CCD摄像机
视频总倍率
50X ~500X
142.5X ~1425X (19.5”显示器,分辨率1440 x 900)
单层透明膜厚度测量模组
高精度测量模式
快速测量模式
厚度测量范围
100nm ~300nm
300nm ~500nm
500nm ~3μm
3μm ~20μm
分辨力
5nm
5nm
7.5nm
0.1μm



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